Optika dinamičkog optičkog sustava skeniranja: 1 kom. leća s malim fokusom, 1-2 kom. leća za fokusiranje, galvo zrcalo. Cijela optička leća služi za širenje snopa, fokusiranje, otklon snopa i skeniranje.
Dio koji se širi je negativna leća, tj. leća s malim fokusom, koja ostvaruje širenje snopa i pomicanje zumiranja, dok se leća za fokusiranje sastoji od skupine pozitivnih leća. Galvo zrcalo je zrcalo u galvanometru.
(1) Optimizacija dizajna leće: Optimalni omjer promjera i debljine
(2) Visoki prag oštećenja leće: >30J/cm2 10ns
(3) Premaz s ultra niskom apsorpcijom, stopa apsorpcije: <20 ppm
(4) Omjer debljine i promjera galvanometra: 1:35
(5) Točnost površine leće: <= λ/5
Post-objektivna leća
Maks. ulazna zjenica (mm) | Optika 1 Promjer (mm) | Promjer optike 2 (mm) | Optika 3 Promjer (mm) | Polje skeniranja (mm) | Čisti otvor blende skenera (mm) | Valna duljina |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 μm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorsko zrcalo
Opis dijela | Promjer (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Premazivanje |
Silicijski reflektor | 25,4 | 3 | Silicij | HR@10.6um,Kut interesa: 45° |
Silicijski reflektor | 30 | 4 | Silicij | HR@10.6um,Kut interesa: 45° |
Vlaknasti reflektor | 25,4 | 6.35 | Spojeni silicijev dioksid | HR@1030-1090nm, kut nagiba: 45° |
Vlaknasti reflektor | 30 | 5 | Spojeni silicijev dioksid | HR@1030-1090nm, kut nagiba: 45° |
Vlaknasti reflektor | 50 | 10 | Spojeni silicijev dioksid | HR@1030-1090nm, kut nagiba: 45° |
532 Reflektor | 25,4 | 6 | Spojeni silicijev dioksid | HR@515-540nm/532nm, kut djelovanja: 45° |
532 Reflektor | 25,4 | 6.35 | Spojeni silicijev dioksid | HR@515-540nm/532nm, kut djelovanja: 45° |
532 Reflektor | 30 | 5 | Spojeni silicijev dioksid | HR@515-540nm/532nm, kut djelovanja: 45° |
532 Reflektor | 50 | 10 | Spojeni silicijev dioksid | HR@515-540nm/532nm, kut djelovanja: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 6 | Spojeni silicijev dioksid | HR@355nm i 433nm, kut djelovanja: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 6.35 | Spojeni silicijev dioksid | HR@355nm i 433nm, kut djelovanja: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 10 | Spojeni silicijev dioksid | HR@355nm i 433nm, kut djelovanja: 45° |
355 Reflektor | 30 | 5 | Spojeni silicijev dioksid | HR@355nm i 433nm, kut djelovanja: 45° |
Galvo ogledalo
Opis dijela | Maks. ulazna zjenica (mm) | Materijal | Premazivanje | Valna duljina |
55 mmD*35 mmŠ*3,5 mmV-X 62 mmD*43 mmŠ*3,5 mmV-Y | 30 | Silicij | MMR@10.6um | 10,6 μm |
55 mmD*35 mmŠ*3,5 mmV-X 62 mmD*43 mmŠ*3,5 mmV-Y | 30 | Spojeni silicijev dioksid | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
55 mmD*35 mmŠ*3,5 mmV-X 62 mmD*43 mmŠ*3,5 mmV-Y | 30 | Spojeni silicijev dioksid | HR@532nm | 532 nm |
55 mmD*35 mmŠ*3,5 mmV-X 62 mmD*43 mmŠ*3,5 mmV-Y | 30 | Spojeni silicijev dioksid | HR@355nm | 355 nm |
Zaštitna leća
Promjer (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Premazivanje |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |