Optika dinamičkog skenirajućeg optičkog sustava: 1 kom objektiva s malim fokusom, 1-2 komada objektiva za fokus, Galvo zrcalo. Cijela optička leća čini funkciju širenja snopa, fokusiranja i skretanja snopa i skeniranja.
Proširujući dio je negativna leća, tj. malofokusna leća, koja ostvaruje širenje snopa i pokretni zum, fokusirajuća leća se sastoji od skupine pozitivnih leća. Galvo zrcalo je zrcalo u galvanometarskom sustavu.
(1) Optimizacija dizajna leće: Optimalni omjer promjera i omjera debljine
(2) Visoki prag oštećenja leće:>30J/cm2 10ns
(3) Premaz s ultraniskom apsorpcijom, stopa apsorpcije: <20 ppm
(4) Omjer debljine i promjera galvanometra: 1:35
(5) Preciznost površine leće: <= λ/5
Postobjektivna leća
Maks. ulazna zjenica (mm) | Optika 1 Promjer (mm) | Optika 2 Promjer (mm) | Optika 3 Promjer (mm) | Polje skeniranja (mm) | Čisti otvor blende skenera (mm) | Valna duljina |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorsko ogledalo
Opis dijela | Promjer (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Premazivanje |
Silikonski reflektor | 25.4 | 3 | Silicij | HR@10.6um,AOI: 45° |
Silikonski reflektor | 30 | 4 | Silicij | HR@10.6um,AOI: 45° |
Vlaknasti reflektor | 25.4 | 6.35 | Taljeni silicij | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
Vlaknasti reflektor | 30 | 5 | Taljeni silicij | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
Vlaknasti reflektor | 50 | 10 | Taljeni silicij | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
532 Reflektor | 25.4 | 6 | Taljeni silicij | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Taljeni silicij | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 30 | 5 | Taljeni silicij | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 50 | 10 | Taljeni silicij | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 25.4 | 6 | Taljeni silicij | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Taljeni silicij | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 25.4 | 10 | Taljeni silicij | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 30 | 5 | Taljeni silicij | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo ogledalo
Opis dijela | Maks. ulazna zjenica (mm) | Materijal | Premazivanje | Valna duljina |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Silicij | MMR@10.6um | 10,6 um |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Taljeni silicij | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Taljeni silicij | HR@532nm | 532 nm |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Taljeni silicij | HR@355nm | 355 nm |
Zaštitna leća
Promjer (mm) | Debljina (mm) | Materijal | Premazivanje |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |